1.過濾濾芯

過濾濾芯，主要過濾原水中的泥沙等大的顆粒物，常用過濾精度有5微米、1微米等。新的濾芯是白色，如果時間長了表面會淤積泥沙等，呈現褐色，這就表示該濾芯不能用了，用自來水沖洗掉表面淤泥后，可以勉強繼續使用1-2周，但不能長期使用。濾芯內置于濾瓶，有的濾瓶是透明的，可以直觀地觀察濾芯的顏色變化，有些濾瓶是不透明的，需要將其擰開后才能觀察濾芯的變化。從經驗數據統計來看，精密濾芯的壽命一般在3—6月，如原水的泥沙多，則其壽命短些，泥沙等顆粒物少，則壽命稍長一點。

2.活性炭濾芯

活性炭濾芯主要通過吸附作用，去除水中的異味、有機物等。自來水中有余氯，對反滲透膜有較強的氧化作用，所以必須經由活性炭去除。活性炭濾芯從表面上看沒有直觀的變化，一般在半年左右需要更換。

3.反滲透膜

反滲透膜是超純水機中的核心部件，其孔徑非常小，在使用過程中常常有細菌等微觀物質淤積在其表面。如果正常用水，則需要經常沖洗。如果長時間（如1個月以上）不用，需要將其取出浸泡在消毒液里，避免細菌的滋生，該過程比較麻煩，建議即使不用水，都經常開機用少量的水，讓機器內部的水形成流通，盡量減少死水的沉積時間。反滲透膜的壽命在2-3年，主要由客戶的用水量來決定。

4.純化柱

純化柱根據客戶的水質需求有時也叫超純化柱，通過離子交換原理對反滲透純水進行深度脫鹽，zui終達到一級水或超純水水平。純化柱的壽命由電阻率在線數據顯示來表現。低于某個特定的電阻率即表示純化柱過期，比較直觀。當反滲透純水水質穩定時，其壽命取決于離子交換樹脂的數量和離子交換樹脂的本身質量。

5.用水

以自來水為水源的超純水機一般都有兩個出水口，分別是普通純水和超純水（或一級水），經反滲透純水存放在水箱里，而超純水（或一級水）是即用即取，不存放。反滲透純水沒有通過純化柱，超純水（或一級水）通過了純化柱，其成本高于反滲透純水。所以客戶在日常應用的時候，應根據需求分質取水，避免使用成本的上升。