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高精度检测能力
菲希尔X射线测厚仪FISCHERSCOPE X-RAY XULM240 配备微聚焦 X 射线管（焦点尺寸≤50μm）和可电动切换的准直器（最小测量点直径 0.1mm），可精准测量半导体芯片金线镀层、精密传感器电极等微型结构115。其比例计数器探测器能实现高计数率，配合菲希尔基本参数法，无需标准片即可完成高精度测量，镀层厚度测量精度可达纳米级（如 80nm 金镀层的重复精度为 2.5nm）524。
智能化测量系统
仪器内置 500 万像素彩色视频显微镜，支持 38x-184x 光学变焦，可实时观察样品表面细节并标记测量区域，定位精度达 ±0.005mm59。通过 WinFTM® 软件可实现测量程序预设（最多 100 组）、数据统计分析及报告生成，满足 ISO 9001 等质量管理体系要求59。
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