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半导体衬底，掩模板，外延片瑕疵测试中外延片的瑕疵检测难度最小，因为半导体外延片表面为黑色，而衬底和掩模板一般为半透明，透明材质的检测难度大于有色材质的难度。深圳荧鸿表面瑕疵检测灯SL8500可检测衬底，掩模板，外延片瑕疵，不过检测的方法略有不同。
瑕疵检测灯SL8500采用一颗20W进口LED并配上深圳荧鸿研发的光学镜片，使其照度比一般的都高，可检测大多数的微小瑕疵（1um）。SL8500有白光和黄绿光两种光源，样式为桌面式。SL8500采用1颗20W 高亮度进口LED加定制的光学镜片； LED平均寿命是30000小时，可添加不同滤光片得到不同波长的光源。SL8500在30cm距离处，光照度为15万LX，可检测大部分瑕疵。有更高要求瑕疵检测，可采用SL8600或SL8900。
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