半導(dǎo)體激光器(semiconductor lasers)定義
定義:
利用半導(dǎo)體作為增益介質(zhì)的激光器。
半導(dǎo)體激光器是采用半導(dǎo)體增益介質(zhì)的激光器,其中在導(dǎo)帶具有很高載流子濃度的情況下,會(huì)實(shí)現(xiàn)帶間受激輻射,產(chǎn)生增益。
半導(dǎo)體中增益產(chǎn)生的物理機(jī)制如圖1所示(正常的帶間躍遷情況)。不存在泵浦光的情況下,大部分的電子處于價(jià)帶。泵浦光束中光子能量只要稍大于帶隙能量,就可以將電子激發(fā)到導(dǎo)帶中的較高態(tài),然后迅速衰變到導(dǎo)帶中接近導(dǎo)帶底的態(tài)上。
同時(shí),價(jià)帶中產(chǎn)生的空穴往價(jià)帶頂移動(dòng)。導(dǎo)帶中的電子和這些空穴重新復(fù)合,產(chǎn)生能量接近于帶隙能量的光子。這一過(guò)程也可由具有合適能量的入射光子激發(fā)。對(duì)這一過(guò)程的定量描述可以采用價(jià)帶導(dǎo)帶電子的費(fèi)米-狄拉克分布來(lái)得到。
大多數(shù)半導(dǎo)體激光器都是激光二極管,是由電流泵浦n型摻雜和p型摻雜半導(dǎo)體材料復(fù)合區(qū)域。但是,也有光學(xué)泵浦的半導(dǎo)體激光器,其中載流子由被吸收的泵浦光產(chǎn)生,還有量子級(jí)聯(lián)激光器,利用了帶間躍遷。
圖1:半導(dǎo)體增益的物理解釋。
常見(jiàn)的半導(dǎo)體激光器材料為(以及其它光電器件):
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GaAs(砷化鎵)
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AlGaAs(鋁鎵砷)
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GaP(磷化鎵)
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InGaP(銦鎵磷)
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GaN(氮化鎵)
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InGaAs(銦鎵砷)
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InGaNAs(銦鎵氮砷)
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InP(磷化銦)
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GaInP(磷化鎵銦)
這些都是直接帶隙半導(dǎo)體,間接帶隙半導(dǎo)體(例如,硅)不能進(jìn)行強(qiáng)的、有效的光輻射。由于激光二極管的光子能量接近于帶隙能量,因此不同帶隙能量的組分可以輻射不同的波長(zhǎng)。
對(duì)于三元和四元半導(dǎo)體化合物來(lái)說(shuō),帶隙能量可以連續(xù)的在很大范圍內(nèi)變化。例如,在AlGaAs(AlxGa1−xAs)中,提高鋁的含量(即增大x)可以提高帶隙能量。
大多數(shù)半導(dǎo)體激光器是工作在近紅外光譜區(qū)域,還有一些產(chǎn)生紅光(例如,在GaInP激光筆)或者藍(lán)光或者紫光(采用氮化鎵)。對(duì)于中紅外輻射,有硒化鉛(PbSe)激光器(鉛鹽激光器)和量子級(jí)聯(lián)激光器。
除了以上提到的無(wú)機(jī)半導(dǎo)體,有機(jī)半導(dǎo)體化合物也可以用到半導(dǎo)體激光器中。對(duì)應(yīng)的技術(shù)還不是特別成熟,但是發(fā)展還在繼續(xù),為了找到一種大規(guī)模生產(chǎn)這種激光器的方法。
到目前為止,只存在光學(xué)泵浦的有機(jī)半導(dǎo)體激光器,但由于各種原因采用電泵浦很難達(dá)到很高的效率。
目錄
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半導(dǎo)體激光器的類型
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典型特點(diǎn)和應(yīng)用
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脈沖輸出
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調(diào)制和穩(wěn)定
半導(dǎo)體激光器的類型
有很多種類的半導(dǎo)體激光器,具有不同的參數(shù)并且應(yīng)用到不同的領(lǐng)域:
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小的邊發(fā)射激光二極管產(chǎn)生幾個(gè)毫瓦的輸出功率(或者達(dá)到0.5W),光束具有很高的光束質(zhì)量。它們可以用作激光筆,CD播放器和光纖通信中。
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外腔二極管激光器包含激光二極管作為長(zhǎng)的激光腔中的增益介質(zhì)。它們通常是波長(zhǎng)可調(diào)的,輻射線寬也很小。
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單片和外腔的低功率激光器都可以進(jìn)行鎖模產(chǎn)生超短脈沖。
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大面積激光二極管產(chǎn)生幾個(gè)瓦特的輸出功率,但是光束質(zhì)量非常差。
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高功率二極管線陣包含一列大面積發(fā)射器,產(chǎn)生光束質(zhì)量差的幾十瓦的輸出功率。
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高功率堆積二極管線陣包含二極管線陣的堆積,產(chǎn)生成百上千瓦的高功率。
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邊發(fā)射激光器(VCSELs)輻射激光的方向垂直于薄片,光束質(zhì)量很高,約為幾毫瓦。
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光學(xué)泵浦的表面發(fā)射外腔半導(dǎo)體激光器(VECSELs)可以產(chǎn)生幾瓦的輸出功率,光束質(zhì)量很高,甚至可以實(shí)現(xiàn)鎖模。
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量子級(jí)聯(lián)激光器工作在帶內(nèi)躍遷(而不是帶間躍遷),通常輻射中紅外光,有時(shí)在太赫茲區(qū)域。它們可以用于痕量氣體分析。
典型特點(diǎn)和應(yīng)用
半導(dǎo)體激光器的一些特點(diǎn)包括:
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適當(dāng)電壓進(jìn)行電學(xué)泵浦和高效率尤其在高功率二極管激光器中可以實(shí)現(xiàn),并且可以作為高效固態(tài)激光器的泵浦光源(參閱二極管泵浦激光器)。
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采用不同的裝置可以得到很寬的波長(zhǎng)范圍,覆蓋了可見(jiàn)光、近紅外光和中紅外光譜區(qū)域。這些裝置還可以被波長(zhǎng)調(diào)諧。
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小的激光二極管可以實(shí)現(xiàn)快速的開(kāi)關(guān)和調(diào)制光功率,因此可以用作光纖鏈路中的發(fā)射器。
以上的特性使半導(dǎo)體激光器為最重要的一種激光器。它的應(yīng)用非常廣泛,包括光學(xué)數(shù)據(jù)傳輸,光學(xué)數(shù)據(jù)存儲(chǔ),測(cè)量,光譜學(xué),材料加工,泵浦固態(tài)激光器(參閱二極管泵浦激光器)和其它各種的醫(yī)學(xué)治療。
脈沖輸出
大部分半導(dǎo)體激光器產(chǎn)生的都是連續(xù)輸出。由于它們的能量存儲(chǔ)能力較差(很短的上能態(tài)壽命),半導(dǎo)體激光器非常適合采用Q開(kāi)關(guān)得到脈沖產(chǎn)生,但是準(zhǔn)連續(xù)光工作可以得到更大的功率。
并且,半導(dǎo)體激光器利用鎖?;蛟鲆骈_(kāi)關(guān)可以產(chǎn)生超短脈沖。短脈沖的平均輸出功率最多為幾個(gè)毫瓦,光學(xué)泵浦的邊發(fā)射外腔半導(dǎo)體激光器(VECSELs)除外,后者可以產(chǎn)生平均輸出功率為幾瓦的皮秒脈沖,其重復(fù)速率為GHz量級(jí)。
調(diào)制和穩(wěn)定
上能態(tài)壽命短的好處就是半導(dǎo)體激光器可以由非常高的頻率進(jìn)行調(diào)制,對(duì)于VCSELs,調(diào)制頻率可達(dá)幾十GHz。這在光學(xué)數(shù)據(jù)傳輸中應(yīng)用比較多,還可以用在光譜學(xué),將激光器穩(wěn)定到參考腔上等。
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