高效過(guò)濾器泄漏檢測(cè)的主要目的是檢查過(guò)濾器及其安裝部位的密封性，及時(shí)發(fā)現(xiàn)并修補(bǔ)泄漏點(diǎn)，確保潔凈室的潔凈度。泄漏的過(guò)濾器會(huì)影響整個(gè)潔凈室的潔凈程度，因此檢測(cè)是確保潔凈室性能的關(guān)鍵步驟。

不同的濾料和不同的濾速最輕易穿透微粒的粒徑是不同的，MPPS檢測(cè)方法就是采用最易穿透粒徑來(lái)檢測(cè)效率的方法。常見(jiàn)的粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)法，光度計(jì)檢測(cè)方法（也稱DOP法，或PAO法）都是MPPS方法。

兩者的區(qū)別在于，光度計(jì)能夠記錄所有粒徑范圍內(nèi)的粒子質(zhì)量濃度，而粒子計(jì)數(shù)器測(cè)試高效過(guò)濾器上游的高濃度氣體，需要外接稀釋器進(jìn)行氣溶膠稀釋，使操作變的復(fù)雜且耗時(shí)，如不接稀釋器直接測(cè)試高效過(guò)濾器上游粒子數(shù)，很容易造成粒子計(jì)數(shù)器的污染甚至損壞。

使用粒子計(jì)數(shù)器測(cè)量過(guò)濾器前后粒子的數(shù)量，計(jì)算過(guò)濾效率。這種方法需要的設(shè)備靈敏度非常高，且此方法適用于檢測(cè)微小泄漏，計(jì)算耗時(shí)長(zhǎng)且成本較高，所以普遍被行業(yè)認(rèn)可的光度計(jì)法不僅檢測(cè)方便且能被眾多客戶所接受。

一、氣溶膠光度計(jì)檢測(cè)法

采用DOP（PAO）發(fā)生器在過(guò)濾器上游發(fā)塵，使用光度計(jì)檢測(cè)過(guò)濾器上下游氣溶膠濃度來(lái)判定過(guò)濾器是否有泄漏。發(fā)塵的目的是因高效過(guò)濾器上游塵粒濃度較低，僅用氣溶膠光度計(jì)在不發(fā)塵的情況下檢測(cè)，較難發(fā)現(xiàn)有泄漏，需補(bǔ)充發(fā)塵才能明顯、容易地發(fā)現(xiàn)泄漏。

人工氣溶膠DOP已有近40年歷史，一段時(shí)間以來(lái)，因被懷疑對(duì)人有致癌作用，現(xiàn)常以DOS、DEHS及PAO等代替，但實(shí)驗(yàn)方法仍稱“DOP（PAO）法”。

ISO14644-3(2019)氣溶膠光度計(jì)法

過(guò)濾器上游氣溶膠濃度：過(guò)濾器上游氣溶膠的濃度應(yīng)在1mg/m3～100mg/m3之間。并非所有光度計(jì)都能使用1mg/m3作為上游氣溶膠濃度挑戰(zhàn)。

• 各過(guò)濾器上游氣溶膠濃度測(cè)量值不應(yīng)超過(guò)平均測(cè)量值的15%。低于平均濃度，可能會(huì)降低輕微泄露的敏感性。高于平均濃度，可能會(huì)增加輕微泄露的敏感性。

掃描探頭尺寸：推薦使用1cm×8cm的矩形探頭，或直徑為3.6cm的圓形探頭。

掃描速度：探頭橫向掃描速率約為5cm/s。

完整性測(cè)試接受標(biāo)準(zhǔn)

掃描過(guò)程中，出現(xiàn)任何大于或等于指定泄漏限值的測(cè)量結(jié)果，都應(yīng)把掃描探頭保持在泄漏位置。泄漏位置應(yīng)通過(guò)保持氣溶膠光度計(jì)最大讀數(shù)的探頭位置來(lái)確定。

• 超出過(guò)濾器上游氣溶膠濃度0.01%的泄漏被視為超過(guò)最大允許泄露限值；所以，可接受標(biāo)準(zhǔn)常表達(dá)為：≤0.01%。

• 對(duì)于過(guò)濾效率(MPPS)在99.95%(H13) ~ 99.995%(H14)的過(guò)濾系統(tǒng)，可接受標(biāo)準(zhǔn)為≤0.1%。

• 對(duì)于過(guò)濾效率(MPPS)低于99.95%的過(guò)濾系統(tǒng)，供需雙方協(xié)商確定驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)。

二、如何讓檢測(cè)更加高效

1.測(cè)試儀帶著電源“小尾巴”移動(dòng)困難

• 多個(gè)房間移動(dòng)時(shí)需要拔插，找最近的接口，但光度計(jì)停電后需要重新進(jìn)行校零點(diǎn)和上游濃度檢測(cè)；

氣溶膠光度計(jì)3991匹配鋰電供電，可滿足全天測(cè)試需求，氣溶膠發(fā)生器3990-01是一款便攜外接氣源即可發(fā)塵的設(shè)備，該組合設(shè)備可解決測(cè)試儀帶著電源“小尾巴”，移動(dòng)困難的需求。

2.安裝效果很好，就是測(cè)試不通過(guò)

遇到此情況需要了解檢測(cè)背景環(huán)境是否清潔，安裝過(guò)程對(duì)靜壓箱是否清潔，尤其是縫隙部位，要進(jìn)行清潔后再進(jìn)行檢測(cè)。

3.紅外掃描代理人工錄入

測(cè)試人員只需通過(guò)電腦條形碼生成軟件，將生成得條形碼逐一貼在被測(cè)高效過(guò)濾器得旁邊，在每次檢測(cè)過(guò)程中，均可自動(dòng)掃描條形碼信息，便可自動(dòng)錄入ID信息 ，大大節(jié)省了檢測(cè)得時(shí)間。