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质量流量控制器（MFC）是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的设备，在现代工业和科研中发挥着重要作用。
原理：MFC基于质量守恒定律，通过传感器测量被控制介质的质量流量，并将信号传递给控制器。控制器根据流量传感器的信号，通过反馈控制系统调节控制阀的开度，实现准确的质量流量控制。其工作原理还涉及热传导或质量平衡原理，例如，内部包含加热元件和温度传感器，气体流经时带走热量，通过测量温度差转换为电信号，进而计算出质量流量。此外，部分MFC利用层流状态下压差与流量的线性关系，结合压力、温度传感器实时补偿环境波动，确保高稳定性。
功能：MFC具有流量测量和控制、自动化操作、流量保护、数据采集和记录等功能。它能够精确地测量和控制系统中的流体流量，确保其在一个设定的范围内。通过数字信号或模拟信号，对控制过程进行自动化操作，用户可在控制器上设定流量值，实现自动调节。当流体流量过大或出现异常时，控制器会自动关闭阀门，防止流体泄漏。同时，MFC还能实时采集和记录流体流量的数据，并通过接口传输给其他设备或系统，便于实时监控和分析。
应用：MFC广泛应用于半导体制造、化学制品加工、医疗设备、环保设备等领域。在半导体制造中，用于精确控制刻蚀、沉积等工艺中的气体流量；在医疗设备中，如呼吸机、麻醉机，确保气体流量的准确控制；在环保设备中，用于工业废气排放的流量监控与数据采集。
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