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半導體級硫酸金屬納米顆粒檢測—珀金埃爾默耗材的關鍵力量

來源:珀金埃爾默企業(yè)管理(上海)有限公司   2025年06月18日 11:43  
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在半導體制造領域,硫酸作為一種常用的工藝化學品,其純度對半導體產品的性能和質量起著決定性作用。哪怕是極其微量的金屬納米顆粒雜質,都可能在半導體的微觀結構中引發(fā)連鎖反應,影響電子遷移率、擊穿電壓等關鍵參數,進而降低芯片的性能、可靠性,甚至導致產品直接報廢,這對于追求高精度、高產出的半導體產業(yè)而言,無疑是巨大的挑戰(zhàn)。


正因如此,精準檢測半導體級硫酸中的金屬納米顆粒成為了行業(yè)焦點。今天,我們將深入剖析使用NexION 5000 SP-ICP-MS進行此項檢測的實驗過程,尤其聚焦其中耗材產品發(fā)揮的關鍵作用,為相關從業(yè)者和技術愛好者揭開高效檢測的奧秘。

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珀金埃爾默NexION 5000 ICP-MS





實驗的主角是珀金埃爾默電感耦合等離子體質譜(ICP-MS)作為一種多元素檢測技術,具有:


靈敏度高


樣品類型靈活(氣體、液體和固體)


測量速度快


線性動態(tài)范圍寬等優(yōu)點

搭配的PFA(聚全氟乙丙烯)材質部件,如0.25mm×80cm的管路,憑借良好的化學穩(wěn)定性,在傳輸樣品時,既不與硫酸發(fā)生反應,保證了樣品的原始性,又能耐受強酸腐蝕,延長了使用壽命,是整個實驗的 “穩(wěn)定后盾”。而Santoprene材質的1.30mm部件,以其出色的柔韌性和密封性,保障了儀器內部氣路、液路的穩(wěn)定,確保實驗順利進行。

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檢測過程中涉及的

耗材產品信息請參考下表:

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(點擊查看大圖)

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在半導體級硫酸金屬納米顆粒檢測實驗中,珀金埃爾默的這些耗材緊密協(xié)作,從樣品傳輸、溶液配制到儀器校準,每個環(huán)節(jié)都至關重要。它們不僅是實驗成功的保障,更為半導體行業(yè)的質量控制提供了有力支持。


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正品耗材,安心之選 

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使用非正品可能導致儀器性能下滑甚至損壞,造成不必要的損失。請認準珀金埃爾默官方渠道,購買帶有防偽標簽的正品耗材,為你的實驗結果上保險!

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