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多級(jí)羅茨干式真空泵

什么是多級(jí)羅茨干式真空泵？

　多級(jí)羅茨真空泵是一種在真空室中不使用油或液體的機(jī)械真空泵。

多級(jí)羅茨干式真空泵的特點(diǎn)

　羅茨干式真空泵是一種集成多級(jí)機(jī)械增壓泵的干式真空泵。采用三葉轉(zhuǎn)子的羅茨式干式真空泵，在一根軸上連接有多個(gè)轉(zhuǎn)子，可以壓縮并排出空氣直至大氣壓。轉(zhuǎn)子殼內(nèi)不使用油等密封液，排氣干凈。齒輪和軸承的潤(rùn)滑采用油，但設(shè)計(jì)了密封結(jié)構(gòu)以防止油進(jìn)入殼體。

【優(yōu)點(diǎn)】可獲得潔凈的真空，從大氣壓到極限壓力均可使用。

【缺點(diǎn)】容積效率比接觸泵差。

多級(jí)羅茨干式真空泵的工作原理

氣體由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子輸送

　該泵在一個(gè)稱為殼體的盒子內(nèi)有兩個(gè)三葉轉(zhuǎn)子（旋轉(zhuǎn)體），它們通過一對(duì)齒輪以相同的速度沿相反方向旋轉(zhuǎn)。轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與殼體之間并不接觸，而是保持較小的間隙旋轉(zhuǎn)，以輸送和壓縮氣體。轉(zhuǎn)子采用多級(jí)結(jié)構(gòu)，將氣體壓縮至大氣壓，并排入大氣。

多級(jí)羅茨干式真空泵的主要用途

FPD制造設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備、真空蒸餾、凈化脫氣、滅菌、干燥、脫水、消毒等。

CVD裝置、蝕刻裝置、灰化裝置、ALD、ALH等，PVD工藝

應(yīng)用

空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣

各種成膜設(shè)備裝料室、卸料室的排氣

真空干燥、真空氣體置換、真空脫氣等一般工業(yè)應(yīng)用

真空絕熱、充氣等真空氣體置換

應(yīng)用行業(yè)：

FPD、電子、半導(dǎo)體領(lǐng)域等。

化工、制藥、太陽能光伏、食品和醫(yī)療等領(lǐng)域。?

CR系列風(fēng)冷羅茨式干式真空泵

用途：

應(yīng)用

空氣、惰性氣體等清潔氣體的真空排氣

真空干燥等水蒸氣排放（需使用氣鎮(zhèn)）

用于濺射、沉積等的真空設(shè)備。

LR系列應(yīng)用

成膜設(shè)備（濺射設(shè)備/蒸鍍?cè)O(shè)備等）

縮短準(zhǔn)備和取出室的排氣時(shí)間

作為輔助排氣泵（渦輪分子泵和機(jī)械增壓泵的輔助排氣）