二流體噴嘴在全自動去膠剝離機中發(fā)揮重要作用,主要用于去膠單元,采用高壓柱狀或扇狀噴嘴對晶圓表面的金屬和光刻膠進行去除。這種噴嘴通過高速空氣將液體擊碎,使液體粒徑變小,提高液體噴射效率,從而實現(xiàn)去除光刻膠的目的。此外,二流體噴嘴在晶圓清洗中的應用,利用壓縮空氣與清洗液混合,通過特殊設(shè)計的噴頭,以高速噴射出微米級的精細霧滴。這種的二流體噴射方式,能夠在晶圓表面產(chǎn)生高效的物理沖擊與化學作用,從而去除光刻膠。設(shè)備可搭載槽式浸泡單元、高壓噴淋或二流體噴淋去膠單元、清洗及干燥單元等工藝模塊,滿足各種品牌型號、各種厚度的正負性光阻去除及金屬剝離等工藝。
相關(guān)產(chǎn)品
免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源:化工儀器網(wǎng)”的所有作品,均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品,未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的,應在授權(quán)范圍內(nèi)使用,并注明“來源:化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者,本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源(非化工儀器網(wǎng))的作品,目的在于傳遞更多信息,并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責,不承擔此類作品侵權(quán)行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時,必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源,并自負版權(quán)等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題,請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系,否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。