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激光干涉儀API
以 API XD Laser 6D 激光干涉儀為例，從穩(wěn)頻激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后，被 6D 傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束。一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反射后返回干涉儀與參考光束相干涉產(chǎn)生干涉條紋，經(jīng)光學相位探測器識別后進行電子計數(shù)，可記錄精確長度位置；第二束光作直線度測量的參考光束，傳感器與參考光束之間的相對位移由裝載傳感器內(nèi)的橫向光電二極管測得；第三束光用作裝在 6D 傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源，用來測量角度誤差（俯仰角和偏擺角）。
要用于機床檢測、校準等領(lǐng)域，可對機床的定位精度、直線度、垂直度、平行度、平面度等參數(shù)進行高精度測量和評估，
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