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無(wú)塵室氮?dú)夤竦慕Y(jié)構(gòu)組成及具體操作流程
無(wú)塵室氮?dú)夤袷且环N用于存儲(chǔ)和管理敏感電子元件、半導(dǎo)體晶圓、精密儀器等物品的設(shè)備，能夠提供一個(gè)無(wú)塵且低濕度的環(huán)境，以防止物品受到污染或氧化。這種設(shè)備通常使用純凈的氮?dú)鈦?lái)置換柜內(nèi)的空氣中的氧氣和水分，從而保持內(nèi)部的環(huán)境穩(wěn)定。工作原理基于氮?dú)獾奶匦裕床换钴S、不易與其他物質(zhì)反應(yīng)。通過(guò)向柜內(nèi)充入高純度的氮?dú)?，可以顯著降低柜內(nèi)的氧氣和水分含量，從而防止氧化和濕氣對(duì)敏感物品的影響。同時(shí)，無(wú)塵室內(nèi)的環(huán)境控制確保了柜外的污染物不會(huì)進(jìn)入柜內(nèi)，保護(hù)了內(nèi)部的物品。
無(wú)塵室氮?dú)夤?/span>的主要組成部分：
1.密封柜體：提供一個(gè)封閉的空間，以保持內(nèi)部的無(wú)塵環(huán)境。
2.氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)：包括氮?dú)馄炕虻獨(dú)馍善?，以及調(diào)節(jié)和輸送氮?dú)獾墓艿篮烷y門。
3.控制系統(tǒng)：用于監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)柜內(nèi)的溫濕度、氮?dú)饬髁亢蛪毫Φ葏?shù)。
4.HEPA過(guò)濾器：過(guò)濾進(jìn)入柜內(nèi)的空氣中的微粒，確保無(wú)塵環(huán)境。
5.除濕裝置：進(jìn)一步降低柜內(nèi)的濕度，防止潮濕對(duì)物品的影響。
操作流程：
1.將需要存儲(chǔ)的物品放入氮?dú)夤駜?nèi)。
2.關(guān)閉柜門并確保密封良好。
3.啟動(dòng)氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)，向柜內(nèi)充入高純度的氮?dú)狻?/span>
4.通過(guò)控制系統(tǒng)監(jiān)測(cè)柜內(nèi)的氧氣和水分含量，確保達(dá)到所需的環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)。
5.定期檢查氮?dú)夤竦男阅?，包括密封性、過(guò)濾器的清潔度和氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)的運(yùn)行狀況。
無(wú)塵室氮?dú)夤竦木S護(hù)與保養(yǎng)：
1.定期更換或清潔HEPA過(guò)濾器，確保無(wú)塵環(huán)境。
2.檢查氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)，確保氮?dú)獾倪B續(xù)和穩(wěn)定供應(yīng)。
3.校準(zhǔn)控制系統(tǒng)，確保準(zhǔn)確的環(huán)境監(jiān)測(cè)和調(diào)節(jié)。
4.檢查柜體的密封性，防止外部污染物進(jìn)入。
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