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LDS3000 / LDS3000 AQ / P3000（XL）氦气泄漏测试
轻型紧凑型
高速检查
高灵敏度
用于系统集成
空气泄漏测试无法检测到的微小泄漏可以通过使用氦气进行检测。
基本规格
使用氦气的泄漏测试方法
真空方法 如何对
工件内部进行真空
真空喷涂法
真空罩法
加压法 对
工件中的氦气加压的方法
嗅探器
真空钟罩法
加压积分法
轰炸方式（工件没有加压口时）
选择测试方法的示例
每种测试方法的特点
此外，还提供氦气混合器和氦气回收装置，以降低运行成本，因此请单独与我们联系。
我们将根据初始成本和运行成本提出建议。
真空法
| 测试方法 | 真空喷涂法 | 真空罩法 |
|---|---|---|
| 检漏精度 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 | 1E - 09 帕·米3/sec 或更高 |
| 整体测量 | × | ○ |
| 泄漏位置 | ○ | × |
| 自动化 | △ | ○ |
| 初期成本 | ○ | △ |
| 运行成本 | △ | △ |
| 维护成本 | △ | △ |
| 受影响的产品 |  LDS3000 | |
加压方式
| 测试 方法 | 真空 Bellger 法 | 轰炸方式 | 嗅探器 | 加压积分法 |
|---|---|---|---|---|
| 泄漏检测 精度 | 1E-07帕米3 /sec 或更高 | 1E-09Pa?m3 /sec 或更高 | 1E-06帕米3 /sec 或更高 | 1E-05帕米3 /sec 或更高 |
整体测量 | ○ | ○ | × | ○ |
泄漏位置识别 | × | × | ○ | × |
| 自动化 | ○ | ○ | △ | ○ |
| 初期 成本 | × | ○ | ○ | △ |
| 运行 成本 | × | △ | × | × |
| 维护成本 | × | × | △ | △ |
| 受影响的产品 | LDS3000 |  P3000（XL） 系列 | LDS3000AQ | |
测试方法详细信息
真空法
真空喷涂法
这是一种通过对工件内部进行真空排气，用喷枪从外部喷射氦气时，检测泄漏到工件中的氦气的方法。
真空罩法
这是一种对工件内部进行真空抽真空并用罩盖住，并在罩内对氦气加压以检测泄漏到工件中的氦气的方法。
加压方式
嗅探器
这是一种在对工件内部进行真空抽吸后对氦气加压，然后用吸枪探头将泄漏到外部的氦气吸出以检测泄漏的方法。
真空钟罩法
这是一种将工件放置在腔室中，对工件进行抽真空，然后对氦气加压，对腔室内部进行抽真空以将泄漏到真空室中的氦气排出的方法。
加压积分法
这是一种将工件放入罩中，对工件进行抽真空，并对氦气加压，以将从泄漏点泄漏到罩内的氦气积累一段时间，并检测罩中积聚的氦气（浓度）的方法。
轰炸方式
这是将工件放入罐中，抽真空一定时间，用氦气加压一定时间，然后将工件从罐中取出，将工件放入腔室中，对腔室进行抽真空，以检测因泄漏而进入工件的氦气。
泄漏测试设备 加压积分法
加压积分法电路配置
氦气检漏仪 LDS3000AQ 电路配置
氦气检测传感器原理
180° 磁场脱毛质谱仪
进入LDS3000AQ的氦气通过涡轮分子泵的反向扩散现象到达分析管。
到达分析仪的分子被细丝的电子转化为 + 离子，然后通过加速电压向 - 方向移动。
+ 当离子通过磁场时，轨道根据气体的质量进行划分。
只有带有 + 离子的氦气到达离子收集器，并被前置放大器放大为电流进行测量。
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