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分子泵机组MPU-90i的安装流程与注意事项，可以参考以下内容：
安装流程
1.开箱检查：双手用力抬出分子泵机组，检查设备在运输过程中有无损坏。
2.准备工作：将设备的电源线接好，并将地线与设备机壳连接。如果是三相供电方式，初次通电时需要观察机械泵的相序，确?；当孟嘈蛘?。
3.设备安装：
分子泵机组应安装在平地上，竖直方向与垂直方向夹角应小于5度。
安装后要固定脚轮，确?；槲裙?。
4.连接部位检查：真空系统各连接部位应密封可靠，确保无泄漏发生。
5.水路系统检查：水路系统接头处应无滴漏，同时确认入口水压、水温及水质是否满足要求。
6.气体排放：建议将机械泵排出的气体引出室外，以确保工作环境的安全。
7.电缆安装：正确插入电缆，并用螺母拧紧，确保连接到位。
8.启动前检查：
确认分子泵安装稳妥，电缆线正确连接并锁紧。
检查真空度和冷却水状况。
进行必要的对中检查和调整。
9.启动机组：按照操作手册的指示，启动分子泵机组，并监控其运行状态。
注意事项
1.安全防护：
在安装和操作过程中，务必佩戴适当的安全防护装备，如手套、护目镜等。
确认防护网已安装，特殊情况下应定做特殊防护网。
2.振动与冲击防护：
分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器以减少振动。
避免对分子泵产生强烈的冲击或振动，以防损坏设备。
3.磁场屏蔽：
分子泵在磁场中运转时，应确保径向和轴向磁场强度均不大于规定值（如30Gs）。
若磁场强度超标，应使用导磁材料进行屏蔽。
4.电源与电气连接：
确保电源电压稳定且符合设备要求。
电气连接应牢固可靠，避免松动或接触不良。
5.操作与维护：
遵循操作手册的指示进行操作和维护。
定期检查真空度、冷却水状况以及电缆连接情况。
若发现异常情况或故障，应立即停机并寻求专业维修服务。
6.环境要求：
安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。
避免将分子泵安装在高温、潮湿或腐蚀性气体环境中。
7.启动与停机：
在启动分子泵前，应确保连接无误、无泄漏、冷却和润滑正常。
?；?，应先给出?；噶睿肿颖眉跛俳崾⑼Ｖ购?，再关闭电源。
分子泵机组MPU-90i的安装流程包括开箱检查、准备工作、设备安装、连接部位检查、水路系统检查、气体排放、电缆安装、启动前检查和启动机组等步骤。在安装过程中，应注意安全防护、振动与冲击防护、磁场屏蔽、电源与电气连接、操作与维护以及环境要求等方面的事项。
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