真空泵的工作原理是:
机驱动的高速旋转叶片撞击气体分子,被撞击的气体分子碰撞到固定叶片后又被弹到下一个旋转叶片上,最终被送到排气口。旋转叶片和固定叶片的方向相反,使分子难于逆行。这种排气方式,排气速度不因气体种类而变。
真空泵的工作过程通??梢员环治礁鼋锥?,即抽气阶段和排气阶段。
在抽气阶段,真空泵被启动后,通过旋转或者连续变化的工作腔,逐步从系统中抽出气体。当系统中气体的压力下降到一定程度时,进入排气阶段,真空泵开始将系统中的气体排出,以此达到形成真空环境的目标。
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