MF5712-G-250-B-A空氣流量計-工作原理

MF5700系列氣體質量流量計是基于廣州紋徠儀器儀表有限公司自主研制的MEMS流量傳感芯片，其原理是利用流動氣體傳熱傳質的依存關系，在其上、下游產生溫度變化而得到氣體的質量流量。

MF5712-G-250-B-A氣體質量流量計同時實現熱源的產生與溫度的測量。當芯片處于工作狀態(tài)時,在傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布。- -旦一定質量的氣體流過傳感器時，氣體的流動將破壞該溫度場的分布，形成特定的、取決于該氣體的質量和速度的溫度場分布。微機電系統(tǒng)流量計芯片上的傳感器將測量這一變化并把這一變化轉換為電信號，由一個專門的電路變送器對此信號進行放大、調理并作線性化處理。由于不同質量的氣體對傳感器的周邊形成穩(wěn)定的溫度場分布所產生的擾動不同，因而能測量氣體的質量流量或總流量。下圖為該系列流量計的原理框圖。