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一、台阶样板
该类样板主要用来校准台阶仪、光学轮廓仪、原子力显微镜等各种台阶高度测量仪器。
台阶高度范围：10nm～100μm；
台阶区域表面粗糙度Sa：优于5.0nm；
台阶区域均匀性：优于15nm；
台阶样片尺寸：10mm×10mm。
序号 | 台阶标称高度 |
1 | 10nm |
2 | 20nm |
3 | 30nm |
4 | 50nm |
5 | 100nm |
6 | 200nm |
7 | 500nm |
8 | 1000nm |
9 | 2μm |
10 | 5μm |
11 | 10μm |
12 | 20μm |
13 | 50μm |
14 | 100μm |
二、光栅样板
该类样板主要用来校准扫描电子显微镜、原子力显微镜等各种线条尺寸测量仪器。
样片类型：一维光栅、二维栅格
区域均匀性：优于15nm；
尺寸范围：100nm～10μm（一维光栅）、2μm～10μm（二维栅格）
线条直线度：优于10nm；
类型 | 具体结构 |
复合型光栅样板 | 包含一维结构：100nm、200nm、500nm、1μm、2μm、5μm、10μm； 二维结构：2μm、5μm、10μm |
微米级光栅样板 | 包含一维、二维光栅结构 结构尺寸：2μm、5μm、10μm |
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