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多道x射线荧光光谱仪作为一种快速分析手段，为相关部门提供了一种可行的、低成本的并且及时的检测、筛选和控制有害元素含量的有效途径。相对于其他分析方法，XRF具有无需对样品进行特别的化学处理，快速、方便、测量成本低等明显优势，特别适合用于各类相关部门作为过程控制和检测使用。
多道x射线荧光光谱仪的保养方法：
1、该仪器中昂贵的部分是高压X射线光管，它是仪器的核心部件。X射线光管对冷却水的温度、压力、电导率都有严格的要求，其佳冷却水温为22℃～24℃，一般不能超过30℃，超过35℃则使用寿命会大大降低。内部循环水用于冷却阳极靶附近的光管头部分，因此要求内部循环水为电导率很低的去离子水(必须该冷却水的电导率<2μs/cm)，以防高压击穿导致x射线光管损坏。
2、分光晶体是具有把X射线荧光按波长顺序分开成光谱作用的晶体。影响分光晶体稳定性的因素有：温度、湿度、酸碱度等。
3、探测器性能一般用波高分布曲线的半宽高来衡量，若半宽高增大则说明分辨能力下降，检测器品质变坏。
4、真空系统是X射线荧光光谱仪的重要组成部分。对于真空泵，主要是应该定期检查真空泵油的油质和油量，检查油质时如果有白色或黑色，就说明油质不正常，应该立即更换泵油。
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