等离子体发生器中的等离子体是气体分子在真空、放电等特殊情况下所形成的*情况和成分。典型的等离子的组成是，电子、离子、自由基和质子。这似乎是将固体转化为气体所需要的能量，而制造离子体也需要能量。一定数量的离子体由带电颗粒和中性颗粒(包括原子、离子和自由颗粒)混合而成。
       

等离子体可以导电并与电磁反应。等离子体发生器形成等离子体的装置，是在密封容器内设置两个电极以形成电场，通过真空泵达到一定的真空度，当气体越来越稀薄时，分子之间的间距和分子或离子的自由运动距离越来越长，它们发生碰撞形成等离子体，这时会发出辉光，因此称为辉光放电处理。
       

等离子体发生器的形成机理包括电离反应、带电粒子的传输以及电磁运动学等理论。等离子体发生器的形成与气化过程伴随着电子、粒子和中性粒子的碰撞反应。等离子体中粒子的碰撞会形成活性组分。由于等离子体处理的目的是改性表面或在其表面形成一层合成材料，所以整个加工过程主要关注等离子体与材料的相互作用和反应产物的生成。
       

每个等离子体发生器的工艺过程都会局限在一个多维参数的腔室中，这个腔室的大小决定了整个工艺的经济性、反应质量、反应性能及其他参数，这些参数可以使处理过程具有竞争性和工业应用价值?？涨坏牟僮魇艿街疃嘞拗铺跫南拗?，如处理过程受到等离子体种类和反应速度的限制，处理效率受到电能转化为等离子体密度方式的限制，反应产量受到某些原料在加工过程中消耗的限制。
在等离子体发生器辅助制造工业中。等离子体一般具有下列用途：
1.等离子体发生器可以作为热源；
2.等离子体发生器可以作为化学催化剂；
3.等离子体发生器可以作为高能离子流和电子流源；
4.等离子体发生器可以作为溅射粒子源；
       

在很多工艺中，随处可见等离子体发生器的这几种基本特性，这就逐渐形成了以等离子体为处理手段的基础制造业。单独的某种处理过程或几种处理过程综合作用可赋予等离子体不同的用途。例如，在等离子体中，利用等离子体的化学合成作用形成新的化学药品，或利用粒子的聚合作用在表面沉积形成薄膜等。