平面气浮运动台用于晶圆测量，要求系统在以生产快速运行时，能否准确识别和测量出晶圆的种种缺陷。这要求机械装置的刚性高，精度好，能够快速响应使系统能够快速稳定下来，达到目标扫描速度识别出晶圆的种种缺陷，满足晶圆每小时生产效率的关键要求。

针对行业应用，我司研发平面气浮运动台，平面式气浮结构设计，使XY轴运动结构共面，两轴的反馈机构在同一个水平面，相当于单轴运动，不存在因叠层引起的阿贝误差，此结构提升了动态跟踪误差，高速响应频率及位置稳定性，开发的气浮轴承补偿方法，提高了刚性和负载能力，以满足高动态响应的要求，可实现快速运动和非常快的位置整定。

应用如晶圆切割，光子学，扫描，以及平板显示器制造中。该平台均是直接驱动、直接反馈型设备，经过大量的测试，可确保达到的精度和稳定性性能。更详细的行业解决方案，欢迎致电我们共同讨论