ulvac真空计的故障排除

来源：秋山科技（东莞）有限公司 2022年10月18日 11:38

ulvac真空计的故障排除

使用注意事项

1.由于灵敏度是用氮气校准的，如果残留气体的主要成分不是氮气，则显示值与实际压力不同。

2.当测量含有氧气或水蒸气的气体时，灯丝会迅速反应并劣化。
为了减少消耗，要么降低发射电流，要么使用具有三层涂层表面的灯丝。

3.在测量10 -4 Pa 或更低的压力时，需要对探头本身进行脱气。
开始脱气时，大量释放的气体会增加压力，反过来可能会污染探头。请务必在 10 -4 Pa 以下进行脱气。

4.请注意，在高压（三极管型：10 -1 Pa 或更高）下连续使用会导致灯丝快速磨损，从而无法获得恒定的发射电流。

1.探头灯丝不亮
2.探头灯丝发出异常光（灯丝瞬间亮后熄灭54.灯丝亮但不显示压力
3.比平时亮）指示值波动6.指示值与预期压力明显不同7.未输出设定值信号

1.写笔灯丝不亮

2.探头灯丝发出异常光（比平时亮）

3.灯丝亮但不显示压力

原因	解决方法
探头电缆断开	探头电缆的维修和更换
控制器故障	要求维修

4.灯丝亮片刻，然后快速熄灭

原因	解决方法
保护电路工作是因为被测压力很高。	用皮拉尼真空计等检查压力。
控制器故障	要求维修

5.指标波动

原因	解决方法
探头或连接探头的连接处出现真空泄漏	更换手写笔或改善连接处的真空泄漏
触控笔上的污染	接点更换
探头电缆在振动	如果探头电缆不断振动，指示值可能会因探头电缆内部的摩擦电动势而波动，因此请重新考虑电缆安装方法。

6.指示值与预期压力有显着差异

7.无设定点信号输出

原因	解决方法
更换控制器中的继电器	继电器损坏 → 要求维修
发射电流失控	如果发射变为 NG，设定值信号的输出也会被取消 → 更换测针

8.停止发射电流流动的原因及对策

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