测量显微镜，采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。适用于录象磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，亦可以进行高度方向做Z坐标的测量;采用双筒目镜观察。照明系统除作透、反射照明外还可以作斜光线照明。仪器进一步可连接CCD电视摄像头，作工件的轮廓放大;亦可连接计算机进行数据处理等测量。

测量显微镜可分:(1)光学测量显微镜、(2)数码测量显微镜两类。

1.光学测量

采用透、反射的方式对工件长度和角度作精密测量。主要运用于录像磁头、大规模集成电路线宽以及其它精密零件的测试。广泛地适用于计量室、生产作业线及科学研究等部门。

       优点：工作台除作X、Y坐标的移动外，还可以作360度的旋转，是一种理想的固定场所小型精密测量仪器。

2.数码测量

       一种将将显微镜看到的实物图像通过数模转换，使其成像在显微镜自带的屏幕上或计算机上的显微镜设备。适用于制造业、精密零件以及不方便移动的物件的观察测量。广泛地适用于生产作业线及科学研究等部门。

       优点:小巧便携，只需一台计算机就可以直观的观测微观放大图像，进行准确数据测量、拍照备份图片及数据资料;还可以根据客户需要定制特种光源(荧光、红外)用于特殊场所观测。数码测量显微镜几年来得到广泛的普及使用，已成为一种可靠实用的精密测量仪器。