- 控温方式:采用人工智能调节技术,具有PID调节、自整定功能,并可编制30段升降温程序。
- 加热元件:0Cr27Al7Mo2
- 工作电源:AC220V 50Hz/60Hz
- 额定功率:4kw
- 炉管材质:高纯石英管
- 炉管尺寸:Φ60/Φ80*1200mm
- 工作温度:≤1150℃
- 额定温度:1200℃
- 恒温精度:±1℃
- 恒温区:200mm
- 升温速度:≤10℃/min
- 密封方式:不锈钢快速法兰挤压密封
- 极限真空:6.0×10-5Pa
- 工作真空:7.6×10-4Pa
- 产品配置:双级旋片真空泵+分子泵
- 测量方式:复合真空计
- 真空规管:电阻规+电离规
- 冷却方式:风冷
- 抽速:110L/S
- 射频电源系统
- 射频功率输出范围:5~500W
- 射频频率:13.56MHz±0.005%
- 噪声:≤55DB
- 冷却方式:风冷
- 功率温定度:± 0.1%
- 混气系统流量规格:0-200sccm (可根据客户需要配置)
- 线性:±1.5%F.S
- 准确度:±1.5%F.S
- 重复精度:±0.2%F.S.
- 响应时间:≤8sec
- 耐压:3MPa
- 气路通道:4通道(根据客户需求)
- 针阀:316不锈钢
- 管道:Φ6mm不锈钢管
- 接口:SwagelokΦ6mm
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