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X射线荧光光谱仪是一种比较新型的无损、快速、便捷的并且可以对多元素进行快速同时测定的仪器。在被测物在X射线激发下，被测元素原子的内层电子发生能级跃迁而发出次级X射线。
下面来看看X射线荧光光谱仪的组成结构：
1、探测器
依分辨率高低档次由低至高常用的探测器有NaI晶体闪烁计数器，充气(He，Ne，Ar，Kr，Xe等)正比计数管器、HgI2晶体的探测器、半导体致冷SiPIN探测器、高纯硅晶体的探测器、高纯锗晶体的探测器、电致冷或着液氮致冷Si(Li)锂漂移硅晶体的探测器、Ge(Li)锂漂移锗探测器等。
目前常用的是电致冷或液氮致冷Si(Li)锂漂移硅晶体的探测器、SiPIN探测器、高纯的硅晶体探测器。探测器的性能主要体现在对荧光探测的检出限、分辨率、探测能量范围的大小等方面。所以你要仪器的检出限好你就要看它了。
2、X光管
X光管是仪器的易损耗材。大多数XRF厂商奉行拿来主义，做的就是组装贴个品牌的工作。其性能寿命和成本一般是5000小时合几百美金。而高档的X光管寿命一般在10年以上，成本当然也高达10多万人民币；SiLi电制冷的，寿命同样会在10年以上，成本至少15万人民币。
3、处理器
分为数字脉冲处理器和模拟脉冲处理器两种，前者在数据处理处理上速度好。全数字脉冲处理快线路处理，容许死时间高达60%?？刹杉笕萘考剖杉跎俨杉奔湎冉氖钟氪车哪Ｄ馐橇酱砥骷际?，技术水平一般差十年。模拟脉冲处理器一般信号处理模式，死时间仅容许30%。不能进行高通量信号处理，为获得大的计数必须延长采集时间。
4、滤光片
滤光片多，可以有选择的降低信噪比，对痕量分析十分有用。
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