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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳
GC-9280型氦離子氣相色譜儀分析高純四氟化碳適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用中心切割技術，進樣閥均帶有吹掃保護氣路；整機采用多柱箱設計，并配備進樣壓力自動校正系統(tǒng)。
檢測項目：
項目 | 指 標 | ||
四氟化碳（CF4）純度（體積分數(shù)）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
氮（N2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
氧+氬（O2+Ar）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
二氧化碳（CO2）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
一氧化碳（CO）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
六氟化硫（SF6）含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
水分（H2O）含量（體積分數(shù)）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
酸度（以HF計）含量含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
其它鹵碳化合物a含量（體積分數(shù)）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
總雜質(zhì)含量(體積分數(shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 | |||
產(chǎn)品的特點:
◆ 氣體行業(yè)專業(yè)色譜技術成套解決方案
◆ 采用VICI公司Valco帶吹掃型十通與六通切換閥控制氣路
◆ 應用氣體分離專用色譜柱分離預切再分離技術
◆ 采用可分離與嵌入式單體控溫柱爐
◆ 工藝流程采用多路精密零死體專用閥控制多維色譜分離柱流量
◆ 分析流程全部采用Valco公司316不銹鋼管路與專用鍍金接頭
◆ 核心靈敏部件采用Valco公司PDHID脈沖氦離子檢測器
◆ 成套專業(yè)化的數(shù)字與全中文反控氣相色譜儀
中心切割與反吹系統(tǒng)：
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀采用多閥多柱的中心切割與反吹系統(tǒng)，該系統(tǒng)由多個吹掃型十通閥及多根色譜聯(lián)合組成，通過工作站設置的時間程序自動控制其進樣、切換、切割與反吹等過程，完成包括高純氮、高純氫、高純氧、高純氦、高純二氧化碳、高純氬、氪氣、氙氣、氖氣等高純氣體以及硅烷等電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測：
VALCO吹掃型十通閥：
GC-9280PDD氦離子化氣相色譜儀所配備的均為VALCO生產(chǎn)的
經(jīng)特殊加工的色譜柱技術
氣體全分析流程：
HP-2氦氣純化器：
可純化氣體：He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
最大操作壓力：1000Psi
去除氣體：H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
殘留濃度：≤10ppb
PDHID對部分雜質(zhì)的檢測限（ppb）
雜質(zhì)種類
雜質(zhì)種類 | H2 | O2 | N2 | CO | CH4 | CO2 | C2H4 | C2H6 | C2H2 | N2O | 苯 |
檢測限 | 5 | 10 | 10 | 25 | 5 | 5 | 10 | 10 | 10 | 5 | 1 |