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參考價	￥18
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產(chǎn)品分類 品牌分類

產(chǎn)品簡介

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設備尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應Z末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。

詳細介紹

上海安銳“專業(yè)、誠信、

新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設備尺寸和指標的需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內(nèi)通向生產(chǎn)線的氣體供應zui末端，用來監(jiān)測超純惰性氣體的應用。工廠內(nèi)氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因?qū)е聺駳鉂B入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。

亮點

· 對 ppb 級別濕度異動的快速響應

· 低濕 ppb 級別的靈敏度（<1 ppb）

· 多點測量安裝的全新概念

· 維護要求低

· 信號燈式的狀態(tài)指示

· 可設置警告和報警點

· Modbus 網(wǎng)絡兼容

· 遠程控制界面的多通道軟件

· （UHP）超純氣體的管線檢測

技術(shù)指標

響應速度	<1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間
濕度量程	1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍	0 to 10 bar
耐壓等級	300 bar
泄漏測試	0-9 mbar l/s
工作流量范圍	1 ~ 10 l/min
工作溫度	5 ~ 40°C
存儲溫度	30 ~ 70°C
電源	20 ~ 28 V DC
功耗	5 W zui大
外部保險絲等級	500 mA 快熔型
數(shù)據(jù)輸出	Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出	2 路
zui大電壓	40 V DC
zui大電流	100 mA
氣體接觸的材質(zhì)
外殼材質(zhì)	不銹鋼 AISI 316L, 內(nèi)表面電拋光 <10 Ra
傳感器結(jié)構(gòu)	氧化鋁電解質(zhì), 上層鍍金保護, 下層鋁層
內(nèi)部容積	4.4cm³
重量	450g
氣路接口	1/4" m VCR
電氣接口	9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性	EN50081-2 和 EN50082-2

高效、成為您zui信任的事業(yè)伙伴”是我們的原

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新型的 Pura Plus

新型的 Pura Plus

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