X射線發(fā)射譜儀(X-ray Emission Spectrometer)是一種通過(guò)檢測(cè)物質(zhì)受激發(fā)后發(fā)射的特征X射線，實(shí)現(xiàn)元素定性、定量分析及物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究的科學(xué)儀器。其核心原理基于原子內(nèi)層電子躍遷產(chǎn)生的特征X射線，具有高靈敏度、非破壞性和多元素同時(shí)檢測(cè)等優(yōu)勢(shì)。
X射線發(fā)射譜儀應(yīng)用場(chǎng)景：
材料科學(xué)
催化劑表征：追蹤電催化反應(yīng)中活性中心結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)演化。例如，中國(guó)科大團(tuán)隊(duì)利用毫秒級(jí)時(shí)間分辨ED-XAFS技術(shù)，捕捉到鎳鐵氫氧化物在析氧反應(yīng)中的脫質(zhì)子過(guò)程及高價(jià)Ni³?δ物種生成。
合金成分分析：快速測(cè)定金屬材料中主量及微量元素含量，指導(dǎo)工藝優(yōu)化。
地質(zhì)勘探與礦產(chǎn)分析
礦石品位鑒定：XRF(X射線熒光光譜儀)可無(wú)損檢測(cè)礦石中稀土元素含量，如“?？菩l(wèi)士K5”便攜式XRF儀用于海關(guān)稀土出口管制。
礦物相分析：結(jié)合WDS(波長(zhǎng)色散X射線譜儀)高分辨率優(yōu)勢(shì)，區(qū)分礦物中微量元素分布。
環(huán)境監(jiān)測(cè)
大氣顆粒物分析：XRF是PM2.5元素分析的三大手段之一，可同時(shí)檢測(cè)Al、Si、S、Cl等20余種元素。
土壤污染評(píng)估：快速篩查重金屬(如Pb、Cd、As)污染區(qū)域。
工業(yè)質(zhì)檢
鋰電池檢測(cè)：XRF用于三元電池正極材料元素定量，避免濫用導(dǎo)致爆炸，確保使用壽命。
半導(dǎo)體制造：檢測(cè)晶圓表面金屬污染，控制良率。
五、技術(shù)發(fā)展趨勢(shì)
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