产品参数：

※ 备注

1：水平放置下的中心垂直负载。

2：最小运动增量不等同于分辨率，最小运动增量是指运动系统在连续、稳定情况下能够移动的最小量。一般来说，系统分辨率远小于最小运动增量?？悸谴峁购捅嗦肫鞫韵低澄蟛畹挠跋欤毕叩缁灰铺ㄓ氩浇缁灰铺ㄏ啾?，其最小运动增量更加接近于分辨率。

3：精度测量数据是平台在水平放置的情况下使用激光干涉仪测量的数据

4：典型值和保证值的区别见技术指南。

5：最大速度为典型值，根据负载和控制器的不同会有区别。

主要特点：

多种行程可选，满足更多应用需求： 提供50mm 和 120mm 三种行程选择，结构紧凑，可灵活集成于各种空间受限的应用场景。

一体化丝杠电机，运行平稳可靠： 采用上海鸣志一体化丝杠电机，无需联轴器，避免偏心扰动，运行更加平稳，保障长期稳定的可靠性。

高精度定位，稳定可靠： 采用优良的伺服电机驱动系统，搭配进口 C3 级丝杠和高精度 SP 级导轨，并集成光栅尺闭环控制

大承载能力，应对挑战： 稳固的结构设计，出色的承载能力，轻松应对重型负载挑战。

相对快速响应，提升效率： 伺服电机驱动系统带来更快的响应速度，提升工作效率。

断电自锁，安全可靠： 内置断电自锁功能，确保运行安全可靠。

强大软件支持，轻松操控: 免费标准版 SDK，支持 Window、Linux 环境下多种开发语言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用户进行二次开发和系统集成。

高性能控制器，实现复杂运动: 控制器支持圆弧插补、直线插补、位置记忆和任意图形导入，可满足各种复杂运动控制需求。（选配）

灵活通讯，无缝连接: 可选配 EtherCAT 总线控制，实现高速、稳定的数据传输。

产品应用：

样品台 Sample Stage、姿态调整 Posture Adjustment、光学测试 Optical Test、光学设备 Optical Equipment