产地类别	进口	应用领域	综合

晶圆紫外线照射器

UV固化装置 Wafer UV irradiator

紧凑、低成本的晶圆紫外辐照器，具有波长交换机制

特征

● 使用LED作为
UV照射光源的切割胶带UV固化装置 ● 可通过音量旋钮调节UV照射强度（0～100%）
● UV照射器安装结构简单，可轻松更换UV辐照器至其他波长可更换
● 采用 N2 吹扫机制，减少 UV 固化的氧气抑制● 采用 N2 预吹扫机制
，减少额外的 UV 照射时间
● N2 吹扫量可通过流量计阀门控制

应用示例

● 背磨时晶圆保护膜的固化 ●
切割后UV固化切割胶带的固化
● 研发、实验使用
● 小量生产使用

各部分名称

半导体制造工序（后工序）

方面

典型示例：MUVBA-0.4 x 0.6 x 0.2

* 请注意，规格可能会因产品改进而发生变化。

数据代表示例

* 所示图表为参考示例，不保证产品质量。

阵容列表

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2
辐照器类型发射波长 N2气体流量机身尺寸 W / D / H [mm] 输入电源电压 [V]
UV-LED 表面辐照器可选择 365nm 385nm 395nm 405nm 1-10NL/min（流量可调） 350 x 600 x 190 AC100-240

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UV固化装置 Wafer UV irradiator

特征

应用示例

各部分名称

半导体制造工序（后工序）

方面

数据代表示例

阵容列表

MUVBA-0.4 × 0.6 × 0.2

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