HORIBA堀場(chǎng)高靈敏度橢偏儀

UVISEL 2 VUV專為VUV 測(cè)量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無(wú)氧氣吸收。具備高準(zhǔn)確性；超快測(cè)量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?span style="box-sizing: border-box; font-weight: bolder;">光譜范圍可覆蓋147-2100nm。

UVISEL 2 VUV能夠在充氮?dú)饣虺檎婵漳Ｐ拖鹿ぷ?。整個(gè)機(jī)械設(shè)計(jì)經(jīng)過(guò)優(yōu)化，氮?dú)庀牧康椭?L/min，載樣速度快，2分鐘內(nèi)即可完成。真空樣品倉(cāng)門(mén)朝向操作人員更便于樣品裝載。

HORIBA堀場(chǎng)高靈敏度橢偏儀UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度，它集成了大功率雙光源、高通量光學(xué)系統(tǒng)以及CaF2光彈調(diào)制晶體和兩個(gè)時(shí)髦的單色儀。從147nm到850nm，樣品測(cè)量時(shí)間少于8分鐘，具有良好的信噪比。

UVISEL 2 VUV通過(guò)顯著減少氮?dú)庀牧?、吹掃及測(cè)試時(shí)間，改變了VUV橢偏儀的世界。

DeltaPsi2軟件提供了從測(cè)試到建模分析，輸出報(bào)告，以及自動(dòng)操作的全部功能控制，用戶界面直觀、友好，非常適用于科研及工業(yè)客戶使用。

UVISEL 2 VUV測(cè)試速度快、運(yùn)行成本低，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動(dòng)化。

• 載樣速度快

• 吹掃速度快

• 氮?dú)庀纳?/p>

• 測(cè)試速度快

• 兩種操作模式可選：氮?dú)獗Ｗo(hù)或抽真空