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一般情況下，樣品的厚度應(yīng)不小于壓痕深度的 10 倍，以保證在測量過程中樣品能夠提供足夠的支撐，避免因樣品過薄而產(chǎn)生變形或穿透，影響測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。對于常見的顯微硬度測量，樣品厚度通常在 0.5 - 10 毫米之間較為合適。

樣品的平面尺寸需足夠大，以確保壓頭能夠在樣品表面合適的位置進(jìn)行測量，且相鄰壓痕之間以及壓痕與樣品邊緣之間應(yīng)保持一定的距離，一般不小于壓痕對角線長度的 2.5 倍，防止壓痕之間相互影響以及避免壓痕靠近樣品邊緣導(dǎo)致應(yīng)力集中而影響測量結(jié)果。通常，樣品的平面尺寸不小于 10 毫米 ×10 毫米。

樣品表面應(yīng)平整光滑，粗糙度一般要求在 Ra0.1 - 0.8 微米之間。粗糙的表面會使壓痕形狀不規(guī)則，導(dǎo)致測量誤差增大，同時(shí)也會影響光學(xué)系統(tǒng)對壓痕的清晰成像，不利于準(zhǔn)確測量壓痕尺寸。

樣品表面不能有油污、氧化皮、污漬等雜質(zhì)，否則會影響壓頭與樣品的接觸，導(dǎo)致壓痕不完整或測量結(jié)果不準(zhǔn)確。在測量前，需要對樣品表面進(jìn)行清潔處理，可根據(jù)樣品的性質(zhì)選擇合適的清潔劑，如酒精、丙酮等進(jìn)行擦拭。

樣品的材料成分和組織結(jié)構(gòu)應(yīng)盡可能均勻。不均勻的樣品會導(dǎo)致在不同位置測量時(shí)硬度值差異較大，無法得到準(zhǔn)確可靠的測量結(jié)果。對于成分或組織不均勻的樣品，應(yīng)在報(bào)告中注明，并盡可能在多個(gè)不同位置進(jìn)行測量，以反映樣品硬度的分布情況。

樣品應(yīng)具有足夠的穩(wěn)定性，在測量過程中不會因外力、溫度變化等因素而發(fā)生變形、開裂或其他物理化學(xué)變化。對于一些軟質(zhì)材料或容易受環(huán)境影響的材料，可能需要采取特殊的固定或保護(hù)措施，如使用夾具固定樣品，或在測量前將樣品在特定的環(huán)境中進(jìn)行預(yù)處理，以保證測量的順利進(jìn)行和結(jié)果的準(zhǔn)確性。