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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG390MI
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涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）是一种通过高速旋转叶片与气体分子动量交换来实现抽气作用的高真空泵。1958年由德国科学家贝克（W. Becker）研制成功，现已成为高真空和超高真空系统中最核心的抽气设备之一。涡轮分子泵通过转子叶片以超音速（通常300-600m/s）运动，直接撞击气体分子并赋予其定向速度，从而在进气口端产生高真空环境。
涡轮分子泵主要分为两大类：
复合式涡轮分子泵：结合涡轮级和牵引级，具有更宽的工作压力范围
纯涡轮分子泵：全部由涡轮叶片组成，在超高真空下性能更优
现代涡轮分子泵通常由电机、转子组件、轴承系统、控制系统和外壳五大部分组成，采用精密动平衡技术确保高速运转的稳定性。
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
传统的方法是加热整个周围区域
，包括反应产物的目标部分
对策，并分散热量。
?无法有效使用。
?对目标区域以外的区域的热效应
TG-MI 系列采取的措施
除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效利用泵内部产生的吸入气体的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度
，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！
?减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。
?排气管也采用隔热材料。 保持最佳温度并防止产品在排气管中形成。
用
半导体、FPD、MEMS 制造等蚀刻设备
易产生反应产物的工艺设备
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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