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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2400MI
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG2400MI
涡轮分子泵作为高真空技术的核心设备，其性能直接影响整个真空系统的表现。随着中国在高科技领域的快速发展，涡轮分子泵的国产化进程正在加速，性能已逐步接近优良水平。在半导体设备自主可控的战略背景下，涡轮分子泵的研发与制造已成为国家科技竞争力的重要体现。
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
传统磁浮轴承涡轮分子泵反应产物的对策
一种加热包括目标部分在内的整个周围区域并分散热量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目标区域外的热效应
TGkineMI-B 系列的措施
除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效地利用泵内部产生的吸入气体产生的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度
，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！
?减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。
?保持优良温度，防止在排气管中产生产品。
用
半导体、FPD、MEMS 制造等蚀刻设备
易产生反应产物的工艺设备
核心技术特征
优良密封技术
磁流体密封（转速>90,000 rpm）
双级机械密封
金属波纹管密封
智能控制系统
变频驱动（节能30%）
真空度PID调节
物联网远程监控
特殊材料应用
陶瓷转子（耐腐蚀）
聚醚醚酮（PEEK）叶片
不锈钢流道
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