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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkineMI2200B
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkineMI2200B
涡轮分子泵作为高真空技术的核心设备，其性能直接影响整个真空系统的表现。随着中国在高科技领域的快速发展，涡轮分子泵的进程正在加速，性能已逐步接近水平。在半导体设备自主可控的战略背景下，涡轮分子泵的研发与制造已成为国家科技竞争力的重要体现。
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
传统磁浮轴承涡轮分子泵反应产物的对策
一种加热包括目标部分在内的整个周围区域并分散热量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目标区域外的热效应
TGkineMI-B 系列的措施
除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效地利用泵内部产生的吸入气体产生的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度
，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！
?减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。
?保持优良温度，防止在排气管中产生产品。
用
半导体、FPD、MEMS 制造等蚀刻设备
易产生反应产物的工艺设备
真空泵是通过机械、物理或化学方法从密闭容器中抽出气体以获得真空环境的专业设备。根据工作原理和真空度范围可分为：
机械真空泵
旋片泵（极限真空10?2 Pa）
螺杆泵（无油设计）
涡旋泵（低振动）
分子泵
涡轮分子泵（10?? Pa）
复合分子泵
低温泵
闭循环制冷型（10?1? Pa）
液氦冷却型
特殊类型
离子溅射泵
吸附泵
扩散泵
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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