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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkineMI3800B
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TGkineMI3800B
涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）是一种通过高速旋转叶片与气体分子动量交换来实现抽气作用的高真空泵。1958年由德国科学家贝克（W. Becker）研制成功，现已成为高真空和超高真空系统中最核心的抽气设备之一。涡轮分子泵通过转子叶片以超音速（通常300-600m/s）运动，直接撞击气体分子并赋予其定向速度，从而在进气口端产生高真空环境。
对于易发生反应产物积累的器件，该系列采用我们的保温结构和自热机构，显著降低反应产物的沉积速率。
传统磁浮轴承涡轮分子泵反应产物的对策
一种加热包括目标部分在内的整个周围区域并分散热量的方法。 它不能被有效地使用。
? 目标区域外的热效应
TGkineMI-B 系列的措施
除了通过外部加热器提高温度外，还可以有效地利用泵内部产生的吸入气体产生的摩擦热，有效地提高气体接触部分的温度
，减少外部加热器的输出功率，提高节能效果！
?减少对主要部件的热影响，减少对泵的损伤。
?保持优良温度，防止在排气管中产生产品。
用
半导体、FPD、MEMS 制造等蚀刻设备
易产生反应产物的工艺设备
技术发展趋势
轴承技术革新
磁悬浮轴承的普及应用
混合陶瓷轴承优化
自润滑轴承系统
材料与制造工艺
碳纤维复合材料转子
3D打印叶轮技术
超精密加工工艺
智能化发展
物联网远程监控
AI预测性维护
数字孪生技术应用
性能提升方向
更高转速设计（>90000rpm）
更宽的工作压力范围
提高轻质气体抽速
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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