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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1003
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG1003
涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）是一种通过高速旋转叶片与气体分子动量交换来实现抽气作用的高真空泵。1958年由德国科学家贝克（W. Becker）研制成功，现已成为高真空和超高真空系统中最核心的抽气设备之一。涡轮分子泵通过转子叶片以超音速（通常300-600m/s）运动，直接撞击气体分子并赋予其定向速度，从而在进气口端产生高真空环境。
| 进气法兰 | VG150 CF160 ISO-B160 标准 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 1000 |
| N2（带保护网） （升/秒） | 940 | |
| H2 （升/秒） | 1000 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 4×103 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B/CF （帕） | <1×10-6/< 1×10-7 |
| VG?ISO-B/CF （托） | <7.5×10-9/< 7.5×10-10 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 2715 |
| 启动时间 | （分钟） | 9-12 |
| ?；奔?/td> | （分钟） | 9-13 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 300/2.3 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | 500 |
| 润滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安装姿势 | 垂直 （±10°） | |
| 质量 | （公斤） | 50 |
| 控制器类型 | TC1003 系列 | |
用
?半导体制造
?电子枪排气、离子源排气
?FPD 制造
?表面处理、表面改性
?各种电子元件的制造
?管材、光学元件的制造
?加速器、放射线设施、聚变研究
?热处理
?研发
* 对于清洁工艺，请选择 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
涡轮分子泵主要分为两大类：
复合式涡轮分子泵：结合涡轮级和牵引级，具有更宽的工作压力范围
纯涡轮分子泵：全部由涡轮叶片组成，在超高真空下性能更优
现代涡轮分子泵通常由电机、转子组件、轴承系统、控制系统和外壳五大部分组成，采用精密动平衡技术确保高速运转的稳定性。
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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