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Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG3213
Osaka Vacuum大阪真空 涡轮分子泵 TG3213
涡轮分子泵（Turbomolecular Pump）是一种通过高速旋转叶片与气体分子动量交换来实现抽气作用的高真空泵。1958年由德国科学家贝克（W. Becker）研制成功，现已成为高真空和超高真空系统中最核心的抽气设备之一。涡轮分子泵通过转子叶片以超音速（通常300-600m/s）运动，直接撞击气体分子并赋予其定向速度，从而在进气口端产生高真空环境。
| 进气法兰 | VG300 ISO-B320 标准 | |
| 抽速 | N2 （升/秒） | 3200 |
| N2 （带?；ね?（升/秒） | 3000 | |
| H2 （升/秒） | 2500 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 6×103 | |
| 极限压力 | VG/ISO-B （帕） | <1×10-6 |
| VG/ISO-B （托） | <7.5×10-9 | |
| 最大气体流速※1 | N2 （SCCM） | 543 |
| 启动时间 | （分钟） | 10-15 |
| 停机时间 | （分钟） | 25-30 |
| 允许的辅助压力 | （Pa / Torr） | 270/2 |
| 推荐的辅助泵 | （升/分钟） | 1500 |
| 润滑油量 | （毫升） | 260 |
| 安装姿势 | 垂直 （±10°） | |
| 质量 | （公斤） | 100 |
| 控制器类型 | TC3213 系列 | |
用
?半导体制造
?电子枪排气、离子源排气
?FPD 制造
?表面处理、表面改性
?各种电子元件的制造
?管材、光学元件的制造
?加速器、放射线设施、聚变研究
?热处理
?研发
* 对于清洁工艺，请选择 TG-F 系列、TG-M 系列或 TGkine 系列。
技术发展趋势
轴承技术革新
磁悬浮轴承的普及应用
混合陶瓷轴承优化
自润滑轴承系统
材料与制造工艺
碳纤维复合材料转子
3D打印叶轮技术
超精密加工工艺
智能化发展
物联网远程监控
AI预测性维护
数字孪生技术应用
性能提升方向
更高转速设计（>90000rpm）
更宽的工作压力范围
提高轻质气体抽速
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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