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当前位置：> 供求商机> Osaka大阪真空 干式真空泵 ER100D
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干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一种无需任何工作液（油或水）参与抽气过程的机械真空泵，代表了当今真空技术发展的前沿方向。这类泵通过在泵腔内直接机械运动来实现气体的压缩和排出，避免了工作介质对真空环境的污染。干式真空泵技术起源于20世纪80年代，随着半导体、光伏等精密制造业对清洁真空环境需求的增长而迅速发展成熟。
干式真空泵的典型应用领域
（一）半导体与微电子制造
晶圆加工过程中的刻蚀、CVD、PVD设备
离子注入机的真空系统
光刻机的环境控制
封装测试环节的真空处理
（二）光伏与平板显示
太阳能电池镀膜生产线
LCD/OLED面板制造设备
真空层压工艺
（三）化工与制药
高纯度药品的真空干燥
反应釜的抽真空系统
溶剂回收装置
无菌包装生产线
（四）科研与制造
电子显微镜配套系统
空间环境模拟装置
核聚变实验设备
精密光学元件镀膜
（五）新兴技术领域
锂离子电池真空干燥
氢能源制备与储存
碳捕集与封存技术
3D打印金属粉末处理
| 型 | ER100D/ER100DC （耐腐蚀型） | |
| 抽速 （L/min） | 1670 | |
| 测试极限压力 （Pa） | 5.0 | |
| 极限压力下的功耗 （W） | 400 | |
| 权力 | 电压 （V） | 200-220 |
| 频率 （Hz） | 50/60 | |
| 相数 | 三个阶段 | |
| 电源容量 （kVA） | 3.2 | |
| N2 吹扫气体流速 （Pa·m3/s） | 17-20 | |
| 冷却方式 | 水冷式 | |
| 冷却水量?。↙/min） | 1.5-3.0 | |
| 冷却水温度 （°C） | 最多 30 个 | |
| 重量 （kg） | 60 | |
■ 在节能、体积小、轻量化方面是同类产品中干式真空泵之一。
极限压力下的功耗：400W 占地面积
：0.11m2
重量：60 kg
■ 根据用途提供产品规格。
ER100D：非常适合轻负载排气和清洁工艺
ER100DC：使用具有高耐腐蚀性的材料来承受腐蚀性气体排放
高斯摩(成都)国际贸易有限公司 - 主营产品： 主要经营光学设备、电子计测、科学仪器、机械加工设备、环境试验 ...
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