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干式真空泵(Dry Vacuum Pump)是一种无需任何工作液(油或水)参与抽气过程的机械真空泵,代表了当今真空技术发展的前沿方向。这类泵通过在泵腔内直接机械运动来实现气体的压缩和排出,避免了工作介质对真空环境的污染。干式真空泵技术起源于20世纪80年代,随着半导体、光伏等精密制造业对清洁真空环境需求的增长而迅速发展成熟。
干式真空泵主要分为五大类型:
爪式干泵(Claw Pump):通过两个非接触的爪形转子反向旋转实现气体输送
螺杆式干泵(Screw Pump):利用一对精密啮合的螺杆转子进行气体压缩
涡旋式干泵(Scroll Pump):采用固定和运动涡旋盘间的容积变化抽气
多级罗茨式(Multistage Roots):多级罗茨转子串联实现逐级压缩
隔膜式(Diaphragm Pump):通过弹性膜片往复运动产生抽气作用
进气法兰 | 50A JIS10KFF | |||
标称抽速 50/60Hz | m3/小时 | 90 | ||
升/分钟 | 1500 | |||
可连续运行,可产生进气压力 | 千帕斯卡 | ≦7 | ||
测试极限压力 | 帕 | 0.7 | ||
允许排气口压力 | 千帕斯卡 | ≦120 | ||
排气极限,最高可达 可连续运行的入口压力(近似值)※1 | 时间 (min) | ≦30 | ||
体积 (m3) | ≦15 | |||
转速 50/60Hz | r/min | 410 | ||
标准电机输出 | 千瓦 | 2.2 | ||
油量 | L | 5 | ||
冷却水量 | m3/小时 | 风冷 | ||
质量 | 全封闭室外通风风扇室内电机 | 公斤 | 185 | |
无电机 | 公斤 | 165 |
可以在低真空范围内连续运行。
■ 可承受恶劣的抽空循环
坚固的排气阀
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