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MC-3462LLINTEC琳得科 质量流量控制器
参考价: 25190
订货量: 1
具体成交价以合同协议为准
  • MC-3462L 产品型号
  • LINTEC/琳得科 品牌
  • 经销商 厂商性质
  • 成都市 所在地

访问次数:112更新时间:2025-03-26 15:25:39

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产品简介
产地类别 进口 应用领域 综合
LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L
质量流量控制器是一种被使用在半导体,液晶面板以及其他电子设备制造工程当中,控制气体或液体质量流量的高精密仪器。
产品介绍

LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L


LINTEC琳得科 质量流量控制器 MC-3462L

质量流量控制器(Mass Flow Controller,MFC)是一种用于精确测量和控制气体或液体质量流量的关键工业设备。作为现代工业自动化过程控制的核心组件,MFC通过将质量流量传感器、控制阀和比例积分微分(PID)控制电路集成于一体,实现对流体流量的高精度闭环控制,典型控制精度可达±0.5%~±1.0%满量程(FS)。


质量流量控制器主要由质流传感器、分流器、制阀以及控制回路所构成。当气体流入后,部分的气体从分流器导入质流传感器,由质流传感器所输出的流量信号比对设定的流量信号,反馈调节控制阀的开度,以此进行流量的控制。

型应用场景

1. 半导体制造:

晶圆刻蚀工艺(Cl?、CF?等特种气体控制)

CVD沉积(SiH?/N?O流量比控制±1%)

2. 新能源领域:

燃料电池氢气供应(动态响应<50ms)

锂电材料烧结(N?/O?混合控制))

3. 制药行业:

生物反应器气体供应(O?/CO?/N?三联控)

冻干机惰性气体?;ぃ兜憧刂?lt;-70℃)

无菌灌装环境控制(ISO 5级洁净度)

4. 科研实验:

催化反应研究(多路气体并行控制)

温度压力规格精度最小F.S.最大F.S.密封件
5~50℃400kPa(D)以下±1%S.P.5SCCM250SLMAu

技术验证数据

案例1:半导体刻蚀工艺

控制气体:Cl?/HBr混合气

流量范围:50-200sccm

稳定性测试:8小时波动<±0.3%

案例2:燃料电池测试

氢气流量:0-5000sccm



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