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当前位置：曦源科学仪器（上海）有限公司>>实验室仪器及设备>>恒温器>> LAUDA Semistat热电式过程恒温器
| 产地类别 | 进口 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 生物产业,电子/电池,制药/生物制药,电气,综合 |
LAUDA Semistat 是一款基于热电制冷（Peltier）技术的高性能热电式过程恒温器，专为半导体行业设计。该系列设备提供 –20?°C 至 +90?°C 的温控范围，适用于等离子刻蚀（Plasma Etching）等高精度温控应用。与传统压缩机制冷系统相比，Semistat 系统能效更高、体积更小，非常适合安装于洁净室地板下，节省空间并降低能耗。
节能环保：无压缩机和制冷剂，能效高，能耗低。
紧凑设计：行业内最小占地面积，适合地下安装，节省洁净室空间。
快速响应：动态温控系统，温度稳定性高达 ±0.1?K。
低液量：极低的热传导液体量，减少能量损耗。
兼容性强：支持多种刻蚀设备通信标准。
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| 型号 | 工作温度 | 最高工作温度 | 最大加热功率 | 20?°C 时制冷功率 | 最大泵流量（压力） | 外形尺寸（宽×深×高） | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Semistat S 1200 | –20?°C | +90?°C | 3?kW | 1.2?kW | 18.9?L/min（0.274?MPa） | 116?×?232?×?470?mm | 25?kg |
| Semistat S 2400 | –20?°C | +90?°C | 6?kW | 2.45?kW | 同上 | 116?×?300?×?560?mm | 35?kg |
| Semistat S 4400 | –20?°C | +90?°C | 12?kW | 4.4?kW | 同上 | 194?×?300?×?560?mm | 55?kg |
半导体制造：用于晶圆刻蚀过程中的温控，确保刻蚀质量。
实验室研究：为科研设备提供精确的温控支持。
洁净室系统：节省空间并降低能耗，适合洁净室环境。
高精度制造：满足对温控精度要求高的制造工艺。
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