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  • 晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器

    HORIBA GR-511F 是一款專為半導體制造工藝設(shè)計的晶圓背面冷卻系統(tǒng) 壓力控制器,主要用于在靜電吸盤(ESC)環(huán)境中控制氦氣或氬氣的背面壓力與流量,以保...

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