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Helios是全自動(dòng)實(shí)時(shí)材料分級和過程控制的在線監(jiān)控設(shè)備，
鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產(chǎn)效率的同時(shí)降低成本。每條生產(chǎn)線每年提升效益170萬美元！

應(yīng)用：
1.進(jìn)料監(jiān)控  通過少子壽命自動(dòng)對晶圓定級
2.過程控制  監(jiān)控和優(yōu)化關(guān)鍵工序，如擴(kuò)散和鍍膜等
3.損傷鑒別  檢測電池片成品的破損和微小裂痕

特點(diǎn)：

1.       線上監(jiān)控或線下分析都適用

2.       采用InGaAs探頭提升測量靈敏度，減少檢測時(shí)間

3.       采用高靈敏光學(xué)成像技術(shù)，每片晶圓測試時(shí)間<1s

4.       鑒別并預(yù)防低質(zhì)量材料進(jìn)入高損耗工序，降低成本

5.       采用簡單明了的圖形界面和是非判定

6.       相比于其他同類PL系統(tǒng)更具性價(jià)比