目錄:北京卓立漢光儀器有限公司>>工業(yè)分析>>半導(dǎo)體光學(xué)參數(shù)檢測(cè)>> 半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)：自動(dòng)化顯微成像模組
| 參考價(jià) | ￥200000-￥300000 | /臺(tái) |
參考價(jià)：￥200000 ~ ￥300000
更新時(shí)間：2025-04-02 11:05:20瀏覽次數(shù)：1048評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè) |
|---|
半導(dǎo)體缺陷檢測(cè)：自動(dòng)化顯微成像模組
針對(duì)半導(dǎo)體集成電路工藝線從表面缺陷檢查到圖形尺寸測(cè)量等各環(huán)節(jié)自動(dòng)化視覺(jué)檢測(cè)需求。
產(chǎn)品特性和核心技術(shù)：
激光自動(dòng)聚焦：
·自主研制的激光輔助離焦量傳感器。
·可在無(wú)圖案晶圓上實(shí)現(xiàn)精確自動(dòng)聚焦和表面跟蹤。
·輔以圖形邊緣識(shí)別，實(shí)現(xiàn)雙模式自動(dòng)調(diào)焦。
明場(chǎng)成像和照明系統(tǒng)：
·自主研制的小型化科勒照明系統(tǒng)。
·照明視場(chǎng)均勻、無(wú)暗角，成像視場(chǎng)中心和邊角均有高對(duì)比度和解析度。
全自動(dòng)操作：
·全軟件控制，自動(dòng)調(diào)焦、尋區(qū)、切換物鏡……
供應(yīng)鏈國(guó)產(chǎn)可控。
性能參數(shù)：
激光自動(dòng)聚焦
顯微成像
不同倍數(shù)物鏡下典型成像效果
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
16
化工儀器網(wǎng)