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泵轴位置 | 边立式 | 极限压力 | 0.45pa |
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输送介质 | 油泵 | 叶轮数目 | 多级 |
应用领域 | 环保,化工,石油,地矿,制药/生物制药 |
日本EBABA荏原EV-M20N高温控制干式真空泵
日本EBABA荏原EV-M20N高温控制干式真空泵
荏原 (EBARA) 高温技术支持高负荷工艺,在半导体、液晶和太阳能电池的制造过程中会产生反应副产物。 由于其高节能性能,可以处理高负载过程并同时节省能源。 标配耐腐蚀材料,还提供排量为 110,000 L/min 的大排量型号。 凭借根据工艺条件的丰富产品阵容,可以处理各种高负荷工艺。
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