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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 1-5千 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
低泄漏流量测量控制用，该装置是配有波纹管密封针阀的流量计，设计用于承受高真空，高压，高温，有毒气体等的使用。
产品介绍
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
所有产品均使用氦气检漏仪进行泄漏检测，因此具有高度可靠的泄漏检测能力。
因为是波纹管密封型装置，不存在针阀轴泄漏的可能性。
流体接触部分的材料只使用SUS316、氟树脂、氟橡胶和硬质玻璃，因此具有优异的耐腐蚀性
具有高精度再现性和稳定性的流量计，由采用精密模塑的三氟甲磺酸酯、肋导向流量计管和超精密球组成，装设有流畅流量特性的精密针阀。
用途
用于真空设备
用于半导体生产线
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl?腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH?）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 气体 | 流体 | ||
|---|---|---|---|
| 流体名称 | Air，N2，O2，H2，He，Ar，CO2（实际气体校准） 其他气体在转换后进行校准，实际气体校准请另行咨询 ※选项：2种流体刻度 | 标准流体（H2O） 其他气体在转换后进行校准 （但是，会产生与实际液体的误差。） | |
| 流量范围 | 0.5~5 ML / MIN至3~30 L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN | 0.5~5ML / MIN至0.1～1L / MIN（参考容量列表） ※选项：0.5~3ML / MIN | |
| 精度 | FS±2％（计量点）※选项：FS±1％（计量点） | FS±2％（计量点） | |
| 耐压 | 100ML / MIN以下：1.0MPa 5L / MIN以下：0.7MPa 10L / MIN以上：0.5MPa | 5ML / MIN以下：1.0MPa 150ML / MIN以下：0.7MPa 200ML / MIN以上：0.5MPa | |
| 有效刻度 | 10：1 ※选项20：1 | ||
| 材质 | SS制 | |
|---|---|---|
| 主体区块 | SUS316 | |
| 锥形管 | 硬玻璃 | |
| 密封材料 | 氟橡胶 | |
| 浮标 | 硬质玻璃，SUS316 | |
| ?；ふ?/th> | 丙烯 | |
| 最高使用温度 | 60℃ | |
| 连接端口 | 1 / 4F 900（标准），1/8 F 900（可?。?，1/4 UJR（选项）* O形密封圈的标准规格（可选配焊接密封） | |
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