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产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
---|---|---|---|
价格区间 | 1-5千 | 介质分类 | 气体&液体 |
应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
该装置为附有金属区域和针阀结构的低成本流量计。 我们建议通过更换气体调整线来降低成本。
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
设计精巧
虽然成本降低,但保留了足够良好的性能。
出色的流量调整性
可以进行平稳的流量调节。
用途
用于整合设备
用于气体吹扫测量
适合追求成本效益的客户
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl?腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH?)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
注)
(1)当拆下拧入下方连接的接头时,针阀整体可能会旋转。 请根据说明手册中的内容采取措施。
(2)使用时务必不要施加超过1MPa的压力。 可能会发生破损或损坏。
(3)为防止锥形管的损坏,请避免在流量计的前段或后端插入电磁阀门。
(4)本产品不包含在修理对象范围内。 详情请查看操作说明书。
(5)该流量计用于简单的流量确认,如果需要稳定精确的流量调节,请选择RK1250等型号。
流体 | AIR,N2(共用刻度) (4种) | H2O (3种) | |
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流量范围 (FS) | 1L/MIN 5L/MIN 10L/MIN 20L/MIN (20°C校准) | 50ML/MIN 300ML/MIN 500ML/MIN (20°C校准) | |
精度 | FS±10% | ||
有效刻度 | 10:1 | ||
耐压 | 0.5MPa | ||
最高使用温度 | 60℃ | ||
流体接触部分材质 | 黄铜(镀镍),硬玻璃,NBR, SUS316,POM | ||
连接 | Rc1/8 |