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产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
---|---|---|---|
价格区间 | 1-5千 | 介质分类 | 气体&液体 |
应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
轻巧小型的带针阀流量计?;诤侠砘杓频牧髁考?,价格低廉,精度高,重现性好,易于操作。
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
KOFLOC科赋乐 浮子流量计
用于科学测量设备 带针阀的吹扫流量计
设计精巧
价格低廉
实现超小型化
种类丰富
用途
用于环境测量设备
用于一般分析设备
用于吹扫设备
用于半导体相关设备
技术优势
热式技术(气体):
基于热扩散原理,直接测量气体质量流量(无需温压补偿)。
低流量灵敏度:可检测0.1 sccm(如半导体工艺气体控制)。
压差式技术(液体):
通过层流元件产生压差,线性输出流量信号。
耐腐蚀设计:接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能:
数字通信(RS-485、Modbus、DeviceNet)。
自诊断报警(流量超限、传感器异常)。
典型应用场景
半导体制造
案例:晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制(RK-1200系列)。
要求:流量稳定性±0.5%,响应时间<1秒。
配置:钛合金流道(耐Cl?腐蚀)+ 防爆认证(Ex d IIC T6)。
光伏产业
案例:硅烷(SiH?)气体输送(MFC-3000系列)。
挑战:硅烷易燃易爆,需杜绝泄漏风险。
方案:全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例:腐蚀性液体(如盐酸)定量添加(RK-2400系列)。
材质选择:哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
流体名称 | Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2(实际气体校准) 其他气体在转换后进行校准,实际气体校准请另行咨询 | |
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流量范围 (FS) | 1L,2L,3L,5L,10L,15L,20L/MIN | |
精度 | FS±5%(计量点) | |
耐压 | 05L / MIN以下:0.7MPa 10L / MIN以上:0.5MPa | |
有效刻度 | 10:1 |
材质 | S制 | BS制 | |
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主体区块等 | SUS304、SUS303 | 黄铜,SUS303 | |
锥形管 | 硬玻璃 | ||
密封材料 | 氟橡胶 | NBR | |
浮标 | 硬玻璃、SUS316 | ||
?;ふ?/th> | 丙烯 | ||
最高使用温度 | 60℃ | ||
连接 | Rc1 / 8(标准) |