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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。
产品介绍
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
MODEL 3660系列是一款质量流量控制器，主要结构紧凑，成本低廉。
从大学和研究机构的研发应用中，我们作为各种分析仪器和真空设备的标准模型取得了许多成就，我们有各种衍生模型和选项。
配备流量传感器，采用改进的恒流温差检测方法，实现高速响应
采用常闭阀门，方向操作安全
通过电磁执行器确保高可靠性
燃气控制的低压差规格（LP选项：仅限3660）
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl?腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH?）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 模型 | 3660 | 3665 | |
|---|---|---|---|
| 流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） | 10SCCM~20SLM（可?。?/td> | 30SLM~100SLM（可选） | |
| 传感器方式 | 热绕组传感器 | ||
| 阀门方法 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | ||
| 控制范围（* 1） | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 响应速度 | 在2秒内 （在±2％F.S.内） | 在3秒内 （在±2％F.S.内） | |
| 准确性 | ±1.0％F.S.（25°C） | ±1.5％F.S.（25°C） | |
| 温度系数 | ±0.1％F.S./°C（15~35°C） | ±0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.5%F.S. | ||
| 操作压差 | F.S.≤5SLM 50~300 kPa（G） | F.S.≤50SLM 150~300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100~300 kPa（G） | F. S.> 50 SLM 200~300 kPa（G） | ||
| 可?。褐醒共钛构娓瘢∕P），低压差规格（LP）可根据条件制造 | |||
| 压力（* 1） | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率（* 2） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | ||
| 允许周围温度 | 5~45℃ | ||
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | ||
| 气体接触材料 | 主体SUS316，SUS316L，磁性不锈钢 | ||
| 阀座FKM（选件CR或NBR） | |||
| 密封材料FKM（选件CR或NBR） | |||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） | ||
| 流量设定 输入信号 | 0~5VDC （输入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | ||
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA，。15 VDC（±5％）250 mA | ||
| 接头 （体型） | 标准1 / 4F900 （9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 | 标准3 / 8F 900 （9 / 16.18 UNF） 选项1 / 2F 900,3 / 8 UJR，Rc 3/8等 | |
| 重量 | 约1000g | 约1500g | |
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