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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。
产品介绍
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
高精度(±1%瞬时流量)
在一定区间可修改全量程范围
支持多范围、多气体、
在免费提供的软件上操作简单
输出输入可选择0-5V/4-20mA
电源也可以选择DC24V
数字通信RS485(9600bps)
常用性的连接头
Dsub9针插头、RJ-45 ?？榛蹇住?
S.P.精度保证的高精
度质量流量控制器
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl?腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH?）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 传落器类型 | 热式绕线型 | |
|---|---|---|
| 适用气体※1 | N? (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4) | |
| 流量量程※3 (0℃,tatm) | 10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim | |
| 控制范围 | 2-100%(FS) | |
| 响应性 | 所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical) | |
| 精度 | ±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.) | |
| 重现性 | ±0.2%FS | |
| 动作压差※4 | 50-300kPa(L:50~149kpa、H:150～300Kpa) | |
| 入口最大压力 | 500kPa(G) | |
| 耐压 | 980kPa(G) | |
| 外部泄漏率 | 1.0×10-?Pa ·m3/sec(He)以下 | |
| 温度 | 充许环境温度 | 5~50℃ |
| 精度保证温度 | 15~35℃ | |
| 允许保存温度 | -10～60℃ | |
| 允许环境湿度 | 10～90%RH(未出现冷凝) | |
| 与气体接位部位的材 质 | SUS316,SUS316L,磁性不锈钢，PTFE,PCTFE,FKM | |
| 电气连接 | Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45?？榛蹇住? | |
| 流显设置信号 | V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4～20mA((输入抗阻2502以上) | |
| 流量输出佰号 | V:0～5VDC(最小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(最小负载电阻5002以上) | |
| 数字通信 | RS485旋转开关的地址设置 可选(MODBUS-RTU9600bps) | |
| 所需电源 | 24VDC(±10%)300mA以下 | |
| 接头 | 1/4SW(标准) | |
| 安装方位 | 建议水平方向 | |
| 重量 | MFC:约500g | |
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