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高斯摩(成都)国际贸易有限公司
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产品简介
| 产地类别 | 进口 | 产品种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 价格区间 | 5千-1万 | 介质分类 | 气体&液体 |
| 应用领域 | 环保,化工,电子/电池,电气,综合 |
KOFLOC科赋乐是日本流量控制设备制造商，成立于1958年，专注于质量流量计（MFM）、质量流量控制器（MFC）和精密阀门的研发生产，产品以高精度、低压损、长寿命著称，广泛应用于半导体、光伏、医疗和化工等领域。
产品介绍
KOFLOC科赋乐 质量流量计
KOFLOC科赋乐 质量流量计
支持15～24VDC宽频电源
模拟输出/输入0-5VDC/4-20mA可选
技术优势
热式技术（气体）：
基于热扩散原理，直接测量气体质量流量（无需温压补偿）。
低流量灵敏度：可检测0.1 sccm（如半导体工艺气体控制）。
压差式技术（液体）：
通过层流元件产生压差，线性输出流量信号。
耐腐蚀设计：接液部分可选316L不锈钢、哈氏合金或PEEK材质。
智能功能：
数字通信（RS-485、Modbus、DeviceNet）。
自诊断报警（流量超限、传感器异常）。
典型应用场景
半导体制造
案例：晶圆刻蚀工艺中Cl?气体流量控制（RK-1200系列）。
要求：流量稳定性±0.5%，响应时间＜1秒。
配置：钛合金流道（耐Cl?腐蚀）+ 防爆认证（Ex d IIC T6）。
光伏产业
案例：硅烷（SiH?）气体输送（MFC-3000系列）。
挑战：硅烷易燃易爆，需杜绝泄漏风险。
方案：全焊接不锈钢结构 + 泄漏自动切断功能。
化工流程
案例：腐蚀性液体（如盐酸）定量添加（RK-2400系列）。
材质选择：哈氏合金C276流道 + PTFE密封。
| 传感器 | 热式绕组传感器 | |
|---|---|---|
| 阀门 | 电磁比例阀（断电时 关闭） | |
| 对象气体 | N2、Air、H2、He、Ar、O2、CO2等 | |
| 流量范围（N2换算） | 10SCCM～20SLM | |
| 控制范围 | 2～100%F.S. | |
| 响应性 | 2sec以内（within±2%F.S.） | |
| 精度 | ±1%F.S.（25℃） | |
| 温度系数 | ±0.1%F.S./℃（15～35℃） | |
| 重现性 | ±0.5%F.S. | |
| 动作压差 | F.S.≦5SLM 50～300kPa、F.S.＞5SLM 100～300kPa | |
| 入口最大圧?耐圧 | 500kPa(G) | |
| 耐圧 | 1MPa(G) | |
| He泄漏率 | 1×10-8Pa?m3/sec以下 | |
| 允许环境温度 | 5～45℃ | |
| 允许保存温度 | -10～60℃ | |
| 允许周围湿度 | 10～90%RH（未出现冷凝） | |
| 与气体接触的材质 | SUS316L,SUS316,磁性不锈钢,FKM(可选:NBR,CR) | |
| 電気接続 | D-sub9九针 KFC standard（依据SEMI standard） | |
| 模拟流量设定信号 | 0～5VDC（输入Z,1MΩ以上）or 4～20mA（输入Z,250Ω） | |
| 模拟流量输出信号 | 0～5VDC（负载电阻250kΩ以上）or 4～20mA（负载电阻300Ω以下） | |
| 电源 | +15VDC（±5%）100mA、-15VDC（±5%）250mA or 24VDC（±10%）450mA | |
| 外部尺寸 | 宽32mm × 高100mm(包含连接部）× 平面76mm(不包含接头) | |
| 接头（本体口径） | 标准：1/4SWL、可?。?/8SWL、1/4VCR、Rc1/4（9/16-18UNF） | |
| 重量 | 约1,000g | |
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